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电离真空计

2026-01-23 19:49:11

  :直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力计确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关。属于绝对真空计的有 U 型管压力计、压缩式真空计和热辐射线)

  :由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力,不能通过简单的计算进行刻度,必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管和用于控制、指示的测量器组成,读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多,如热传导真空计和电离线、按真空计测量原理分类

  压力为 10-1 Pa 时,作用在 1cm^2 表面上的力只有 10-5 N,显然测量这样小的力是困难的,但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于间接测量线)压缩式真空计

  利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随压力变化的原理。如热如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离线)放电管指示器

  利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性测量。

  利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子线)场致显微仪

  利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计。

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